
半导体检测实验室的布局规划需要满足实验室功能要求,避免低效率和低效能的资源利用。环境的设立必须符合规范,将实验室划分为几个独立的区域,以防交叉污染引发实验失败。实验室的样品制备区、样品分析区、数据处理区、设备仪器区等需要相对独立,划分时还要注意各个区域的密度和人员设置。
实验室平面工艺设计布局按照实验室建筑设计规范及建筑设计防火规范要求,将办公区域和实验区域分开,两者之间设置门禁系统。主实验室与辅助功能间之间相互协调,按照实验室功能流程合理分布。考虑人流物流污物流分开,保障样品无交叉污染,保证实验数据的正确性。